超純水」的定義：一般指經(jīng)離子交換樹(shù)脂、活性碳、濾膜法去除水中的主要不純物質(zhì)，而其比電阻值達(dá)到18.2兆歐厘米的水。

純水」、「超純水」雖是實(shí)驗(yàn)用水的名詞，卻無(wú)法明確表示水的純度。
將水中的導(dǎo)電污染物質(zhì)去除到比阻抗值達(dá)18.2 MΩ．cm（25℃）時(shí)，就稱為「超純水」。在此必須注意的是，比阻抗值只是代表水中無(wú)機(jī)鹽類的含量，但并不能表示不含其它種類的污染物質(zhì)。也就是，稱為「超純水」的水，還是可能含有不確定量的有機(jī)物、微粒子、微生物等污染物質(zhì)。因此，必須同時(shí)使用「比阻抗值」與「TOC值」來(lái)評(píng)估水質(zhì)。

不論以任何純化方法來(lái)去除污染物質(zhì)，若無(wú)法達(dá)到18.2 MΩ．cm的水，都稱為「純水」。例如「離子交換樹(shù)脂水」、「蒸餾水」、「逆滲透水」等，都屬于純水。「蒸餾水」與「逆滲透水」這一類的純水，由于純化速率較慢，都必須使用純水儲(chǔ)槽儲(chǔ)存后再供使用，因此，被純化的水，在貯存過(guò)程中卻可能受到貯存器材的材質(zhì)、混雜在空氣中的污染物與微生物的污染，造成水質(zhì)的降低。所以，所謂的「純水」也無(wú)法代表一定會(huì)有很好的品質(zhì)，其水質(zhì)會(huì)因?yàn)榧兓椒ㄅc使用環(huán)境的不同而有所不同。